循環水的水質和運行溫度超過一定指標是造成無油真空泵結垢的主要原因。水質指標中，尤以水的硬度影響。為此，必須盡可能降低水的硬度，控制循環水的工作溫度，才能解決無油真空泵結垢的問題。

1.循環冷卻水的硬度
循環水在無油真空泵中的運行過程，與低壓熱水鍋爐中鍋水運行過程極其相似。因此，按照熱水鍋爐水質標準來管理無油真空泵水質，既可防止無油真空結垢又可防止無油真空泵腐蝕。
無油真空泵循環水系統大都是敞開式循環系統，回水率比較高。在因資金等原因不采用離子交換設備進行水處理的情況下，一般利用一個軟化水池加一個高位水池對無油真空泵進行供水。

2.循環冷卻水的溫度控制
從上述分析可以看出，無油真空泵內水環溫度與軟化水池水溫之差是導致結垢的重要因素。因此，增大循環供水量提高冷卻效果是限度減小結垢速度的重要保證。
因此在循環冷卻水運行過程中，還有必要對各臺泵的回水溫度和回水量進行監測，以保證各臺泵的正常供水量以及回水溫度不超過40℃的規定。供水量可以用閥門來控制，如果回水溫度超過規定，要采取補充低溫冷水或用其他散熱降溫的辦法來降低軟化水池內軟化水的溫度。

3.定期沖洗泵體
無油真空泵的泵體排水閘閥，除了用于正常排出泵內積水外，還可在運行過程中利用泵體運轉的水壓定期沖洗泵內污垢和水渣，一方面可以防止污垢積存，另一方而還可以防止水渣轉化為水垢。 無油真空泵的結垢問題有其較為復雜的生成機理，無油真空泵廠家正確分析水質指標和運行參數是找出正確防范措施的關鍵。除了水溫控制和定期沖洗泵體外，水處理是防止泵體結垢的重要環節。